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廢氣排放管理辦法

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廢氣排放管理辦法
文件類別：作業(yè)類文件/動力系統(tǒng)管控
文件初始編制者/日期：
文件修訂者/日期：

文件審批記錄：

部門/職位	姓名
副總裁	
基建動力部總監(jiān)	
ESH部經(jīng)理

文件修改履歷：
版本號
Rev	更改內(nèi)容/描述
Description of Changes	發(fā)布日期
Release date
A/0	文件新編	2009.11.30

1目的與范圍
使PM人員，設(shè)備運行工程師，系統(tǒng)工程師熟悉廢氣排放流程,了解廢氣異常排放處理辦法，預(yù)防及減輕廢氣系統(tǒng)管理不當(dāng)及人為疏忽造成的對當(dāng)?shù)卮髿猸h(huán)境的影響,確保處理后之制程廢氣達(dá)到國家市政廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)安全排放.
2規(guī)范性引用文件
2。1中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)
3職責(zé)
3。1相關(guān)部門因按照此辦法規(guī)定的管理標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行；
3.2動力設(shè)備部相關(guān)工程師應(yīng)嚴(yán)格管控生產(chǎn)廢氣達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)排放；
4術(shù)語和定義
無
5管理內(nèi)容與治理措施方法
5.1 廢氣污染源分析
廢氣處理系統(tǒng)所處理排放的廢氣主要來源于：生產(chǎn)工藝過程包括擴散前清洗（制絨）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蝕等使用氫氟酸、鹽酸、硝酸、四氟化碳等化學(xué)試劑揮發(fā)產(chǎn)生的酸性、含氟廢氣；清洗、擴散、PEVCD等工序產(chǎn)生有機溶劑廢氣和少量工藝尾氣。
5.2 廢氣處理系統(tǒng)
根據(jù)廢氣性質(zhì)，將廢氣處理系統(tǒng)分為一般性廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)、酸性廢氣處理系統(tǒng)、工藝尾氣處理系統(tǒng)和有機廢氣處理系統(tǒng),新增加異丙醇回收裝置，各系統(tǒng)考慮了將來達(dá)規(guī)模的生產(chǎn)要求，放大了處理系統(tǒng)的能力，風(fēng)機采用變頻式風(fēng)機，可根據(jù)需要變化排風(fēng)量。
5。2.1一般廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)
該系統(tǒng)排放一般的廢氣和高溫排風(fēng)，不需經(jīng)處理而直接排放.
5。2.2酸性廢氣處理系統(tǒng)
酸性廢氣主要來源于工藝流程中使用各種酸液對硅片的腐蝕、清洗過程、擴散及等離子刻蝕產(chǎn)生的廢氣，主要污染物為氟化物、硝酸、HCl、Cl2等；擬設(shè)置1套酸性廢氣處理裝置進(jìn)行處理.
酸性廢氣處理系統(tǒng)主要由廢氣洗滌塔、通風(fēng)機、排氣管和加藥系統(tǒng)等組成。廢氣先由排氣管道輸入廢氣洗滌塔，吸收液為氫氧化鈉溶液，堿液經(jīng)回圈噴灑而下，利用氫氧化鈉溶液作吸收液凈化酸霧廢氣，吸收效率為93%～98%。
5。2.2。1酸性廢氣塔結(jié)構(gòu)原理:
 
5。2.2。2酸性廢氣處理流程：

5。3 工藝尾氣、堿性廢氣處理系統(tǒng)
工藝尾氣、堿性廢氣主要來源于：PEVCD工藝過程中使用氨氣、硅烷等過程，堿性廢氣的主要成分為氨、工藝尾氣中含有微量硅烷等。采用HWR型生產(chǎn)工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。
5.3.1工藝尾氣、堿性廢氣處理設(shè)備結(jié)構(gòu)：
 
5.3。2工藝尾氣、堿性廢氣處理流程圖：

5。4 有機廢氣處理系統(tǒng)
有機廢氣主要來源于絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)過程中產(chǎn)生的有機氣體,主要成份為異丙醇等有機物。設(shè)置活性炭纖維吸附處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。
采取的活性炭纖維吸附處理系統(tǒng)對VOC的處理效果能達(dá)到90％以上,滿足《中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》的要求。
5。4。1有機廢氣系統(tǒng)處理流程
揮發(fā)性有機化合物廢氣經(jīng)過活性炭吸附塔,由內(nèi)部活性炭過濾器吸附，處理后由風(fēng)機抽引經(jīng)煙囪排至大氣環(huán)境。
5。4。2活性炭吸附塔結(jié)構(gòu)原理:

5。4。3有機廢氣處理流程圖:

5。5 工藝尾氣排放分析
5.5.1工藝廢氣來源
在電池芯片的加工過程中,工藝尾氣主要來自擴散、PECVD、干法刻蝕等工序，尾氣中含有微量硅烷等。
應(yīng)用工藝特殊氣體的典型生產(chǎn)工藝為：
(1）擴散：擴散是在硅片表面摻入純雜質(zhì)原子的過程.工藝生產(chǎn)過程中分為沉積源和驅(qū)趕兩步，其化學(xué)反應(yīng)為：
①:5 POCl33 PCl5 + P2O5
②：5P2O5 + 5 Si == 5SiO2 + 4P
(2)化學(xué)氣相沉積(PECVD)：PECVD是在硅片上沉積氧化硅、氮化硅和多晶硅等半導(dǎo)體器件材料，在300～900℃的溫度下通過化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生以上物質(zhì)的過程，其化學(xué)反應(yīng)為：
SiH4  + O2 →SiO2 + 2H2O
SiH4  + N2O→SixO2 + N2 + H2
SiH4  + NH3  →Si3N4 + H2
在上述生產(chǎn)工藝中，使用硅烷等多種特殊氣體，絕大多數(shù)特殊氣體參與了反應(yīng),所排放的尾氣中的主要成份為HCl、HF等.
5。5。2工藝尾氣處理措施
1、對氣源柜、注入機反應(yīng)室、有毒氣體間、腐蝕性氣體間、氫氟酸配送間、酸液配送間的排風(fēng)接入酸性廢氣洗滌系統(tǒng)進(jìn)行處理后排放。
2、對于在硅片PECVD生產(chǎn)工序中產(chǎn)生的工藝廢氣,本項目擬采用HWR型生產(chǎn)工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。處理后產(chǎn)生的尾氣由風(fēng)機經(jīng)排氣筒高于地面18米排放。
5.5。3廢氣排放統(tǒng)計
酸性/堿性廢氣、有機廢氣中主要污染物處理及排放情況見表3。1—6.從表中可見,經(jīng)采取上述處理措施后，酸性廢氣、有機溶劑廢氣各排氣筒主要污染物指標(biāo)均能達(dá)到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297-1996中二級標(biāo)準(zhǔn)（第二時段);堿性廢氣各排氣筒的氨也能達(dá)到《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 14554—93的要求。
表3.1－6  工藝廢氣主要污染物處理及排放情況
廢氣
種類	排放參數(shù)	污染物
名稱	處理前	處理后	評價標(biāo)準(zhǔn)	達(dá)標(biāo)
情況
	高度
(m)	排氣
總量
（m3/h）		排放
速率
（kg/h）	排放
濃度
(mg/m3）	排放
速率
(kg/h)	排放
濃度
(mg/m3)	排放
速率
(kg/h)	排放
濃度
（mg/m3)	
酸性廢氣	＞18	≤45000	氟化物	1.80	120	0。090	6.0	0.43	9	達(dá)標(biāo)
			HCl	0.46	30.7	0。023	1。53	0.26	100	達(dá)標(biāo)
			NOx	0.114	7.6	0.0057	0。38	0.77	240	達(dá)標(biāo)
堿性廢氣	＞18	≤9400	NH3	0.06	18.8	0.003	0.94	20	-	達(dá)標(biāo)
有機廢氣	＞18	≤12000	VOC
(主要異是丙醇）	0。38	63.3	0。038	6。3	排放速率<0。6 kg/h或去除率>90%	達(dá)標(biāo)
注：1。 除氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 14554—93外,其余均執(zhí)行《大氣污染物綜合
排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297-1996中二級標(biāo)準(zhǔn)（第二時段)。
2. 氮氧化物以NO2計，氟化物以F計。

5。6關(guān)于無組織排放
5.6.1無組織排放是指排氣筒高度小于15m或不通過排氣筒的廢氣排放。
5。6。2 潔凈車間有較高的顆粒潔凈等級要求,因此車間內(nèi)各股廢氣量均為有組織排放,基本沒有無組織排放的廢氣.
5.7 權(quán)責(zé)區(qū)分
5。7。1對于廢氣排放的各相關(guān)單位及工程師，應(yīng)該擔(dān)當(dāng)各自系統(tǒng)制程，設(shè)備清洗等產(chǎn)生廢氣的管制，要安全有效的排放廢氣.動力工程部負(fù)責(zé)廢氣收集，廢氣處理，廢氣排放，廢氣系統(tǒng)設(shè)備，儀表的保養(yǎng)維護(hù),確保系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn),保證處理完后廢氣達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。
5.7。2EHS部門負(fù)責(zé)監(jiān)督。
5。8 廢氣排放管理
5.8。1廢氣收集系統(tǒng)，處理系統(tǒng)相關(guān)設(shè)備，儀表，管件由動力工程師及維修人員根據(jù)廢氣系統(tǒng)PM OI進(jìn)行定期保養(yǎng)維護(hù)，并記錄各時期自主檢查表，確保系統(tǒng)正常運行。
5。8。2對于廢氣排放使用之風(fēng)機，動力工程部應(yīng)做定期的檢修工作。
5.8。3對于排放出的廢氣環(huán)保局會隨時抽測,我們會針對不符合排放標(biāo)準(zhǔn)的廢氣做相應(yīng)的改進(jìn)措施。 
5.8。4定期委外監(jiān)測
5。8。4.1 監(jiān)測項目：氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫、有機化合物。
5。8。4.2 監(jiān)測位置：酸/堿排氣類型目前均有排放口，每年取樣并作記錄
5。8。5處理設(shè)備參數(shù)設(shè)定
5.8。5。1 酸性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為8.0～11
5.8。5.2 堿性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為3.0~6.0
5.8。6廢氣系統(tǒng)異常情況分析與對策
5.8.6。1主要分為以下異常情況:生產(chǎn)設(shè)備異常造成廢氣排放,致使排放濃度增高;機臺正常廢氣排放，但處理后未能達(dá)標(biāo).
5.8.6。2 機臺異常造成廢氣排放
5.8。6.3 從所有生產(chǎn)設(shè)備使用氣體的情況來看，就鋼瓶內(nèi)儲存氣體量都不大,Exhaust都能滿足抽風(fēng)排氣的需求,即生產(chǎn)設(shè)備端異常氣體泄漏,主要有氣體泄漏為酸、堿性氣體,會被抽到酸、堿性洗滌塔，分別用NaOH和HCl溶液循環(huán)洗滌去除有害類氣體，如果因為異常廢氣排放濃度增大，則可以通過調(diào)節(jié)洗滌塔內(nèi)水的PH值（對于酸塔提高PH設(shè)定值，對于堿塔降低PH設(shè)定值)，來提高洗滌塔的處理效率。
5.9非正常工況廢氣排放處理辦法
5.9.1在車間開工時，首先運行所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站，然后再開啟車間的工藝流程，使在生產(chǎn)中所使用的各類化學(xué)品所產(chǎn)生的廢氣都能得到處理、廢水也能排到廢水處理站.5。9.2 車間停工時，所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站繼續(xù)運轉(zhuǎn)，待工藝中的廢氣和廢水沒有排出之后才逐臺關(guān)閉.這樣，車間在開、停車時排出污染物均得到有效處理，經(jīng)排氣筒排出的污染物濃度和正常生產(chǎn)時基本一致。
5。9。3廢氣處理系統(tǒng)和排風(fēng)機均設(shè)有保安電源，系統(tǒng)設(shè)有備用風(fēng)機（N+1配置）。當(dāng)廢氣處理設(shè)備出現(xiàn)故障時，工藝生產(chǎn)過程排放的廢氣將未經(jīng)處理直接排入大氣，造成非正常排放.故障一般能在2小時內(nèi)修復(fù)。
5.9。4排風(fēng)系統(tǒng)均設(shè)有安全保護(hù)電源和報警系統(tǒng),設(shè)備定期檢修保養(yǎng)，基本上能保證無故障運行。5.9.5  日常運行中，若出現(xiàn)故障，檢修人員可立即到現(xiàn)場進(jìn)行維修,一般操作在30分鐘內(nèi)基本上可以完成，預(yù)計最長不會超過60分鐘。
5。9.6廢氣處理系統(tǒng)出現(xiàn)故障，一般采取以下措施：
5.9.6。1  如果全廠停電，停止生產(chǎn),無污染物產(chǎn)生。
5。9。6.2  為確保安全，風(fēng)機仍然繼續(xù)運轉(zhuǎn)(采用UPS）.
5.9.6。3 風(fēng)機出現(xiàn)故障時，備用風(fēng)機立即啟動.
6  相關(guān)記錄:
6。1Q/ZTIS Z02020302-01 《廢氣異常排放記錄表》
7  管理流程圖：無
8  附錄

8。1附錄A：一般酸堿廢氣異常排放處理流程
附錄A:一般酸堿廢氣異常排放處理流程

否

是

否

是

否

是

附錄B：有機廢氣處理流程

否

是

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