1、高純氬氣和氮氣應存放在陰涼、通風處，每次安裝好減壓閥之后，必須進行檢漏，保證氣體無泄漏；

　　2、工作前，先檢查電源線路及氣源管路完好。開啟儀器，應先開氣源，再開循環(huán)水，最后開高頻電源,關(guān)閉儀器按相反的步驟進行；

　　3、點燃等離子體之前，必須先打開通風系統(tǒng)，同時確保炬室門關(guān)閉，瑣扣完全到位；

　　4、打開炬室門之前，必須關(guān)閉等離子體；等離子體至少關(guān)閉5分鐘之后，才可以進行炬室部分的處理工作；

　　5、工作結(jié)束后，必須關(guān)閉高頻開關(guān)。