1. 目的
為DJ-802V型LPCVD立式爐的開關機安全操作以及設備緊急避險提供指導。
2. 范圍：
本規(guī)程適用于DJ-802V型LPCVD立式爐安全技術操作。
3. 參考
《設備安全使用管理制度》
4. 職責
4.1. 設備工程師負責設備的正常開、關機操作的培訓和指導；
4.2. 擴散操作者以及設備工程師等相關人員可執(zhí)行設備的緊急避險程序。
5. 開機前確認
5.1. 開機前確認住控制器開關、傳片單元開關、顯示器開關、爐體加熱開關、控制器電源開關、DN-130P極限溫度控制器電源開關、FFU電源開關、照明燈電源開關都在“OFF”位置；若不在，則將開關調整至“OFF”位置。
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5.2. 開機前動力條件確認：打開閥門后觀察氮氣壓力、硅烷壓力、二氯二氫硅壓力、笑氣壓力、氨氣壓力、壓縮空氣壓力、冷卻水壓力均在壓力表綠色區(qū)間內。氣體壓力，SiH4：2±1kg/cm2，SiH2CL2：0.7±0.1 kg/cm2，N20：2±1 kg/cm2，氨氣：2±1 kg/cm2，N2：2±1 kg/cm2，壓空：5±1 kg/cm2。冷卻水流量，正常值為500±10cc/min。
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5.3. LPCVD的真空泵氮氣壓力和冷卻水壓力都在額定值范圍內。（能通過真空泵控制面板的自檢）\

6. 操作順序
6.1. 打開120V、280V電源開關
6.2. 依次打開控制器電源開關、DN-130P極限溫度控制器電源開關、FFU電源開關、照明燈電源開關、主控制器開關、傳送單元開關、顯示器開關、爐體加熱開關。
6.3. 顯示器上提示“BACKUP MEMORY INITIALIZE OK？”按F1鍵確認。
6.4. 真空系統(tǒng)建立
6.4.1. 確認各閥門動作正常且大閥處于關閉狀態(tài)（閥控制面板上V71閥LED燈不亮，即大閥關閉）；
6.4.2. 按真空泵控制面板上的“START”鍵；
6.4.3. 檢查真空壓力表讀數(shù)是否在紅色箭頭指定的0.2Pa位置；
6.4.4. 撿漏時先開慢抽（V72閥），當真空計讀數(shù)為100Pa以下時再打開快抽（V71閥）；
6.4.5. 當真空閥路控制器轉換到MANUAL狀態(tài)，打開V5，V8 閥，按“SET”鍵確認，當容壓計和真空計的讀數(shù)均為零的時候，關閉V71閥，計時3分鐘，漏率不超過2Pa/min。
 

6.4.6. 通過漏率測試，慢回填氮氣（0.5slm）10分鐘，再快回填氮氣（2slm）15分鐘。
6.4.7. 將爐門落下，待機做片。
7. 關機程序
7.1. 程序結束后依次關閉加熱開關，觀察DN-130P極限溫度控制器顯示溫度降至50攝氏度以下，關閉主控制器開關、傳送單元開關、顯示器開關；
7.2. 關閉照明燈電源、關閉FFU電源開關、關閉DN=130P極限溫度控制器電源開關、關閉控制器電源；
7.3. 關閉120Vhe208V電源開關
7.4. 關閉真空泵：控制面板上的STOP鍵，關閉真空泵泵冷卻水，關閉真空泵吹掃氮氣，關閉真空泵本電源開關
7.5. 關閉冷卻水，氮氣，壓縮空氣閥門。
8. 注意事項：
本LPCVD立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設備，為了保證人身和設備安全，所有人員必須嚴格遵守下列條款：
8.1. 電器安全
8.1.1. 不能去掉所有連鎖；
8.1.2. 爐體電源打開后，嚴禁打開爐體腔門，需要處理爐體端子時，必須先把高壓斷開，進行這些操作時，必須兩人在場；
8.2. 特氣安全
8.2.1. 本設備使用硅烷作為工藝氣體，該氣體遇空氣極易燃且有毒，燃燒后產(chǎn)生白色粉末，對凈化環(huán)境產(chǎn)生影響。
8.2.2. 未經(jīng)允許，不準打開或者關閉硅烷閥門，停送氣需要提前申請；
8.2.3. 硅烷氣體管路系統(tǒng)必須氣密性良好，一旦發(fā)現(xiàn)氣體泄漏，立即執(zhí)行硅烷泄露緊急避險，進行相關處理。
8.2.4. 氨氣，二氯二氫硅具有腐蝕性的特氣，操作者按照日常點檢要求進行檢查。
8.3. 高溫安全
8.3.1. 出入舟時禁止打開傳送腔室前后門，防止爐門打開時受到熱輻射。
8.3.2. 必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進行爐體加熱器部分的保養(yǎng)，維修。
8.4. 其它：
8.4.1. 執(zhí)行正常關機程序時不允許直接按紅色的“EMERGENCY”按鈕進行急停操作；
8.4.2. 如遇特氣泄漏，火災等緊急情況時可以按紅色的“EMERGENCY”按鈕。