本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光掩模石英玻璃基板（以下簡(jiǎn)稱石英玻璃基板)的術(shù)語(yǔ)和定義、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路、光通訊、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、光電器件和發(fā)光二級(jí)管（LED)等光刻工藝中光掩模石英玻璃基板。
混凝土壩智能溫控系統(tǒng)規(guī)范公路工程機(jī)制砂水泥混凝土質(zhì)量管理指南公路工程建設(shè)項(xiàng)目首件工程制實(shí)施管理…公路涉路施工活動(dòng)技術(shù)評(píng)價(jià)規(guī)范公路隧道維修加固技術(shù)規(guī)程高速公路瀝青路面抗車轍性能評(píng)價(jià)技術(shù)…展覽和體育建筑設(shè)計(jì)防火技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)智慧停車場(chǎng)（庫(kù)）交通設(shè)計(jì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
