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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 38447-2020
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 北京大學(xué)、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心
發(fā)布日期： 2020-03-06
實(shí)施日期： 2020-07-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年03月26日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)適用于ＭＥＭＳ結(jié)構(gòu)的共振疲勞試驗(yàn)。

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