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SiC-HPSI型高純半絕緣碳化硅單晶片規(guī)范

標 準 號： SJ 21441-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團有限公司 等
發(fā)布日期： 2018-01-18
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年09月17日
內容摘要

本規(guī)范規(guī)定了SiC-HPSI型高純半絕緣碳化硅單晶片的技術要求、質量保證規(guī)定、交貨準備等。


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