本標準規(guī)定了真空設備檢漏方法選擇的人員資格要求、通用要求、檢漏實施的安全要求、選擇程序及選擇原則、檢漏方法的特征參數(shù)。
　　
　　本標準適用于真空設備的檢漏方法選擇，適用的真空設備包括真空容器、真空管道、真空泵、真空閥門、真空鍍膜設備、真空干燥設備、真空冷凍干燥設備、表面分析設備、真空冶金設備、空間環(huán)境模擬設備、半導體生產(chǎn)設備等真空設備。工作時涉及真空狀態(tài)的其他設備的檢漏方法選擇也可參照本標準執(zhí)行。