本文件定義了與熱陰極電離真空計相關(guān)的術(shù)語,并規(guī)定熱陰極電離真空計制造商要給出的具體參數(shù),以及在操作這些儀表時,需要考慮的測量不確定度分量。原因如下。
a) 本文件更新了ISO 3529-3:1981中給出的一些術(shù)語和定義。
b) 熱陰極電離真空計通常用作參考標(biāo)準(zhǔn),本文件為適用的實驗室明確規(guī)定了便于在高真空和超高真空下正確校準(zhǔn)真空計的相關(guān)信息。使用電離真空計開展高真空和超高真空的可溯源壓力測量時,適于在制造商說明書中引述含有真空計相關(guān)參數(shù)和特征的信息。
c) 本文件還列出了與電離真空計壓力測量相關(guān)的重要的不確定度分量,也給出了這些不確定度分量的評估指南。對于某些當(dāng)前或未來的真空計來說,不確定度分量的清單可能并不全面。
d) 將電離真空計用作參考標(biāo)準(zhǔn)時,本文件是對ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的補(bǔ)充。