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硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法

標 準 號： YS/T 15-2015
替代情況： 替代 YS/T 15-1991
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 南京國盛電子有限公司
發(fā)布日期： 2015-04-30
實施日期： 2015-10-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年05月07日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了測定硅外延層和擴散層厚度的磨角染色法。
本標準適用于外延層和擴散層與襯底導電類型不同或兩層電阻率相差至少一個數(shù)量級的任意電阻率的硅外延層和擴散層厚度的測量，測量范圍：1μm～100μm。

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