本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對(duì)TDL-GX 硅芯生長爐產(chǎn)品的型號(hào)品種規(guī)格、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、存儲(chǔ)以及定購和供貨等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于高頻感應(yīng)加熱，采用基座法生長硅基發(fā)熱載體的設(shè)備。