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本標準規(guī)定了鉑靶的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及合同或訂貨單。 本標準適用于半導體器件用的各類鉑濺射靶材，其他用途的鉑靶材也可參照使用。
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