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硅片直徑測量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 14140-2009
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 洛陽單晶硅有限責(zé)任公司
發(fā)布日期： 2009-11-30
實施日期： 2010-06-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年03月13日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用光學(xué)投影儀測量硅片直徑的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量圓形硅片的直徑,可測最大直徑為300 mm。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于測量硅片的不圓度。
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