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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鍺單晶位錯(cuò)密度的測試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于、和面鍺單晶位錯(cuò)密度的測試,測試范圍為0 cm-2~100 000 cm-2。