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>>正文
多層金屬薄膜層結(jié)構(gòu)測量分析方法 X射線光電子能譜
標(biāo) 準(zhǔn) 號：
T/CSTM 01199-2024
替代情況：
發(fā)布單位：
中關(guān)村材料試驗(yàn)技術(shù)聯(lián)盟
起草單位：
發(fā)布日期：
2024-01-05
實(shí)施日期：
2024-04-05
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期：
2024年04月26日
下載地址：
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內(nèi)容摘要
本文件規(guī)定了X射線光電子能譜儀（XPS）深度剖析測量多層金屬薄膜層結(jié)構(gòu)的分析方法。
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金屬
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協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
.
薄膜層
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