本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用高純鈦濺射靶材的術(shù)語、定義、基本要求、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量承諾和服務(wù)保證。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路中制造電子薄膜用的各類鈦濺射靶材。