一 真空機組開機流程
1、 啟動VB150維持泵，然后打開出口閥。當(dāng)電阻計2真空度達到5帕以下時，啟動擴散泵加熱。
2、 啟動VB200旋片泵，打開旁通閥；當(dāng)電阻計1真空度達到2000帕以下時，開啟2ZJP—300羅茨泵，進行預(yù)抽。
3、 擴散泵加熱50分鐘以上且電離計真空達到5帕以下時，先關(guān)閉旁通閥，再打開主閥，進行主抽。
4、 關(guān)閉2ZJP—300羅茨泵，30秒后關(guān)閉VB200旋片泵。
二 真空機組關(guān)機流程
1、 關(guān)閉主閥。
2、 啟動-----關(guān)機程序。
三 真空機組使用注意事項
1、 真空機組在使用的整個過程中，必須保證水路、氣路完整通暢。
2、 必須嚴格按照真空機組的開機、關(guān)機流程，進行操作。
3、 擴散泵加熱過程中，若不慎斷水。應(yīng)先關(guān)閉擴散泵電源，再關(guān)閉主閥。然后摘下擴散泵電爐加熱器，并使用電風(fēng)扇進行降溫。在這過程中，要一直保持VB150維持泵和出口閥處于開啟狀態(tài)。
4、 擴散泵加熱過程中，若VB150維持泵出現(xiàn)故障不工作，應(yīng)先關(guān)閉出口閥，然后啟動VB200旋片泵，再啟動2ZJP—300羅茨泵，打開維持閥進行主抽。