本標準規(guī)定了四氟化硅的技術要求、試驗方法、標志、包裝、運輸和貯存等內(nèi)容。
本標準適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業(yè)中等離子蝕刻、發(fā)光二極管 P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴散的硅源和光導纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相對分子質(zhì)量:104.0786128(按2009年國際原子相對質(zhì)量)。
花生黃曲霉毒素檢測抽樣技術規(guī)程頁巖氣 地震資料處理解釋和預測要求頁巖氣 氣井試氣作業(yè)規(guī)范地熱鉆井鉆頭使用基本規(guī)則和磨損評定…地熱廢棄井及長停井處置規(guī)范頁巖氣 頁巖損失氣量的計算方法地熱測井資料處理解釋規(guī)程水熱型地熱尾水回灌技術規(guī)程
常用化學危險品貯存通則【作廢】工業(yè)管道的基本識別色、識別符號和安…氣瓶顏色標志【作廢】危險化學品從業(yè)單位安全標準化通用規(guī)范常用危險化學品的分類及標志【作廢】紡織工業(yè)企業(yè)安全管理規(guī)范化工企業(yè)安全衛(wèi)生設計規(guī)定【作廢】危險化學品貯存通則
