本標準規(guī)定了六氟化硫的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯存及安全等。 本標準適用于硫與氟直接反應并經精制和純化制備的六氟化硫。該產品主要用作電子工業(yè)中化學氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。 分子式:SF6。 相對分子質量:146.0564192(按2007年國際相對原子質量計算)。