本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用SOI硅片進(jìn)行MEMS器件加工時(shí)應(yīng)遵循的工藝要求和質(zhì)量檢驗(yàn)要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅基MEMS制造技術(shù)中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和質(zhì)量檢驗(yàn)。
糕點(diǎn)、面包衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)【作廢】棉紡織企業(yè)安全生產(chǎn)規(guī)程以噪聲污染為主的工業(yè)企業(yè)衛(wèi)生防護(hù)距…生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)單位安全生產(chǎn)事故應(yīng)急預(yù)案編…海上固定平臺(tái)安全規(guī)則(試行)學(xué)校衛(wèi)生監(jiān)督綜合評(píng)價(jià)勞動(dòng)防護(hù)用品分類與代碼城市區(qū)域環(huán)境振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)
