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潔凈室及相關受控環(huán)境 第15部分:按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性

標 準 號: GB/T 25915.15-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 中國標準化協(xié)會、江蘇富泰凈化科技股份有限公司、天津大學、中國建筑科學研究院有限公司等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實施日期: 2023-07-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年04月17日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了評定潔凈室及相關受控環(huán)境中設備和材料的適用性要求,提供了指南。
本文件不適用于以下內(nèi)容:健康和安全要求,清潔劑及清潔技術的相容性,清潔性,生物污染,工藝和產(chǎn)品對設備和材料的特定要求,設備的設計細節(jié)。

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